2奈米以下要靠它？秒懂最強薄膜技術ALD原子層沉積！用超薄材料造出最小電晶體

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我們都知道光刻技術影響先進製程的發展，但你知道其實薄膜製程也在其中扮演重要角色嗎？其中原子層沉積（ALD）更是重中之重！

ALD顧名思義，一次只沉積一層原子的厚度。比起傳統的薄膜製程，ALD在薄膜的均勻度、厚度控制和階梯覆蓋率上都更勝一籌，是元件越做越小的的半導體產業中不可或缺的技術。

而ALD這個領域的霸主，就是擁有超過50年歷史的荷蘭半導體設備商ASM！ASM不僅深耕ALD研發20餘年，現在更是在市場有超過55%的市佔率！

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揭密突破製程極限的關鍵技術—原子層沉積
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