10萬零部件，1.2億美金一台！EUV光刻機到底難在哪裡？【52赫兹实验室】

荷蘭阿斯麥的光刻機是台積電的“命脈”，10萬零部件，1.2億美金一台！EUV光刻機到底難在哪裡？
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