Скачать или смотреть スパッタ成膜タイムアタック～酸化シリコン最高レートへの挑戦～

酸化シリコン成膜タイムアタック！
今回は、スパッタリング法を用いて、酸化シリコン（SiO₂）膜を成膜する際に必要な実際の時間をご紹介します。使用する装置は、菅製作所製のSSP1000キュービックスパッタ装置です。

【成膜条件のご紹介】
今回の「成膜タイムアタック」で用いる条件は以下の通りです。

〇使用する装置: 菅製作所製 SSP1000キュービックスパッタ装置
〇ターゲット材: 酸化シリコン（SiO₂）　Φ2インチ x 3t
〇使用ガス: アルゴン（Ar）のみ
〇基板: 4インチSiウェハ
〇チャンバー圧力: 0.5 Pa
〇RF出力: 300 W
〇ターゲット-基板間距離 (TS距離): 55 mm
〇基板回転: あり (5 rpm)

この情報が、皆様の成膜プロセス設計の一助となれば幸いです。

▼菅製作所の詳しい商品情報を知りたい方はホームページもご覧ください。
真空技術を用いた菅製作所の装置
【キュービックスパッタ装置SSP1000】
・卓上型RFスパッタのエントリーモデル
・納入後でも成膜方向をアレンジ可能
🔽 詳細はこちらから 🔽
https://agus.co.jp/?p=218

【テスト成膜サービスのご案内】
装置の新規導入を前提としたお客様を対象に、弊社保有のデモ機によるシリコンウェハや
お客様御支給のサンプルに対するテスト成膜サービスを行っております。
🔽 詳細はこちらから 🔽
https://agus.co.jp/?p=770

【 📩 お問い合わせ】
菅製作所で取り扱っている製品やサービス等に関しては
下記フォームにてお問い合わせください。
https://agus.co.jp/?page_id=95
（※「YouTubeを見た」とお伝えください）


【菅製作所について】
菅製作所は、1946年に漁船用機器の修理業で創業。
漁業用船舶機器である漁船向けの動力伝達用クラッチシステム、
油圧機器、漁労機器などの船舶用機器、真空装置・真空機器の提供。
2000年には自社製スパッタ装置の販売を開始。
さらに2011年より汎用マイコン・汎用メモリへのROM書込みサービスを展開。
大学や研究機関を中心に活動の幅を拡げております。
弊社で扱う装置と船舶用機器の主な部品は、社内で設計から部品加工、組み立てまで行い、
お客様のニーズに合わせたものづくりを目指しています。
また、装置の御検討時から導入後のサービスに至るまで、きめ細かい対応を心掛けており、
お陰様で多くのお客様から高い評価を頂いております。

【導入実績】
国内外を問わず多くの多くのお客様にご提供させていただいております。
https://agus.co.jp/?page_id=4985

公式HP：https://agus.co.jp/
会社名：株式会社菅製作所
住所：〒049-0101 北海道北斗市追分3-2-2
業務内容：研究開発支援機器(真空装置等)の設計・製造・販売
　　　　　船舶用機器の設計・製造・販売
　　　　　汎用マイコン・汎用メモリへのROM書込みサービス
　　　　　理化学機器・産業用機械の販売
電話：050-3734-0730
FAX：0138-49-8661

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