Плазмотрон Низкотемпературная плазма Тлеющий разряд

В плазменном оборудовании атмосферного давления газ под воздействием высокого напряжения при атмосферном давлении возбуждается настолько, что плазма воспламеняется. Плазма с помощью сжатого воздуха выгоняется из сопла. Различают два эффекта воздействия плазмы:

Активация и особо тонкая очистка осуществляются при помощи содержащихся в плазменной струе реактивных частиц.

Кроме того, свободные, прилипшие частицы удаляются с поверхности с помощью струи активного газа, ускоренной за счет сжатого воздуха.

Посредством изменения технологических параметров, таких как скорость обработки и расстояние до поверхности подложки можно по-разному влиять на результаты обработки. Тлеющий разряд