ZEISS – Neue Wege für die Mikrochips von Morgen

Immer kleinere, günstigere, leistungsfähigere und energieeffizientere Mikrochips – das wäre ohne die ZEISS Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) nicht denkbar. Denn der Schlüssel zur Miniaturisierung der Chipstrukturen ist die Photolithographie. Dabei werden die Chipstrukturen von einer Photomaske durch eine optische Abbildung auf einen Wafer übertragen. Die SMT liefert die optischen Komponenten und Module für die Belichtung, die in die Waferscanner des strategischen Partners ASML integriert werden. Zudem bietet die SMT Photomasken- und Prozesskontrolllösungen zur Optimierung wesentlicher Schritte bei der Mikrochipherstellung. Die innovative Lithographie mit extrem ultraviolettem (EUV) Licht ermöglicht die Herstellung von Chipstrukturen, die weniger als 20 Nanometer breit und damit rund 4.000 Mal dünner als ein menschliches Haar sind. Mit ihren EUV-Optiken trägt die SMT zur Weiterführung von Moore’s Law bei und ist Taktgeber für die Digitalisierung.