华为有可能搞定5nm?专利解读,没有EUV这都不叫事?

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华为有可能会搞定5nm工艺吗?有这个可能。3月22日,一份专利文件发布了出来,叫做「自对准四重图案化半导体装置的制作方法以及半导体装置」,里面就介绍了华为的一种半导体制作技术。但是这份专利的申请日是2021年9月1日,也就意味着,华为至少在三年甚至可能在五年前,就在研究这方面的课题,并极有可能也形成了相应的技术体系。

Can Huawei pull off 5nm? With their patents, not having EUV isn't even an issue.

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