電子エネルギー損失分光法、データの取得と解析のポイント

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透過型電子顕微鏡で利用可能な分析機器のひとつである電子エネルギー損失分光法(Electron Energy-Loss Spectroscopy、EELS)は、試料を透過した電子をそのエネルギー損失量に応じて分光することで試料の組成情報や化学情報がナノスケールで得られる手法です。エネルギーの損失量は試料を構成する電子の状態に依存することから、試料からの有用な情報を引き出すことが出来ます。この高い分析能力については広く知られていますが、データを取得する際の手順の複雑さからエネルギー分散型X線分析(EDS)と比較して操作が難しいと考えられてきました。しかしながら、近年のソフトウェアの機能向上とハードウェアの性能向上によって、EELSのデータ取得と処理のハードルは大幅に引き下げられています。

本ウェビナーでは、EELSを使用してデータを取得する方を想定し、事前準備から実験のプランニング、測定手法の選択、そして実際にスペクトルデータを取得する際の手順まで、各ステップにおける注意点と共に順を追って解説します。

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