고강도, 고열전도 복합 세라믹 진공척의 혁신적 개발 (반도체 제조, 탄화규소, 카본 블랙, 진공척 기술)

한국세라믹기술원 이민호 박사 연구팀은 기존 진공척 소재의 한계를 극복한 복합 세라믹 진공척을 개발했습니다. 주성분으로 탄화규소(SiC)를 사용하고, 카본 블랙과 탄화붕소(B4C) 또는 질화붕소(BN)를 소결조제로 활용하여 높은 기계적 강도와 우수한 열적 특성을 확보했습니다. 이 복합 세라믹 소재는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 고온과 화학적 스트레스에 견딜 수 있으며, 다양한 산업 분야에서 활용될 수 있습니다. 이 기술은 기존 세라믹 소재의 문제점을 해결하고 제조 공정을 단순화하여 비용 절감 효과도 기대됩니다.

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