【超音波加工】氧化鋁陶瓷:外型磨削加工|漢鼎智慧科技Hantop Intelligence Tech.

Описание к видео 【超音波加工】氧化鋁陶瓷:外型磨削加工|漢鼎智慧科技Hantop Intelligence Tech.

👍🏻 提升2倍加工效率
👍🏻 大幅減少刀具磨耗 - 改善磨棒積屑問題
👍🏻 減小近3倍脆裂邊

漢鼎的超音波驅動模組應用在氧化鋁陶瓷(Aluminum Oxide,Al2O3)外型磨削加工,超音波的高頻率微振動,搭配漢鼎新開發產品-超音波專用電著鑽石磨棒,可幫助順利排除磨棒上的陶瓷粉塵,有效降低磨削阻力與刀具磨耗。在工件品質維持良好的前提下,可提升2倍進給率,加工時間縮短一半,整體加工效率提升2倍。
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氧化鋁陶瓷良好的耐化學性及熱穩定性,使它廣泛地被應用在半導體製程中(如蝕刻、薄膜等),作為關鍵製程零件(如陶瓷靜電吸盤)的材料。陶瓷靜電吸盤(Electrostatic Chuck,E-chuck)在半導體設備中,主要用來吸附晶圓,確保晶圓切割時的穩定性。

然而,陶瓷材料的磨削加工,常因其高硬脆的材料特性,以及刀具排屑不利,面臨多重挑戰(如加工耗時、刀具壽命差等),導致生產投入成本過高,產能卻無法提升。

使用漢鼎超音波輔助加工,搭配新產品-超音波專用電著鑽石磨棒,改善排屑機制,幫助降低磨削阻力,在工件品質維持良好的前提下,提升加工效率、減少刀具磨耗,達到低成本、高效、高產能的整體製程優化!
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