[레이저 현미경] 현미경의 측정 헤드를 활용한 웨이퍼 정밀 검사 솔루션 |키엔스코리아 X 애니모션텍

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키엔스 레이저 현미경 VK-X3000 솔루션을 이용한 ㈜애니모션텍의 검사 장비를 소개합니다!

[레이저 현미경 VK-X3000 시리즈]
레이저 마이크로스코프의 한계를 트리플 스캔 방식으로 해결!

・나노·마이크로·밀리를 1대로 측정 가능
・광학 현미경에서 SEM까지의 영역을 1대로 해결
・최고 분해능 0.01 nm

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