2024/06/21 「5G基地局・EV用等の将来を担う凄い窒化物半導体とは ―窒素極性結晶が開く新たなトランジスタの展開―」末光哲也特任教授

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半導体と言えばシリコンが主流であるが、それ以外の材料も用途に応じて利用されている。中でも窒化ガリウムに代表される窒化物半導体は、青色LEDや移動体通信の基地局用アンプなどで身近に使用されている。窒化物半導体には極性が存在し、結晶の面方位によって正や負の電荷を帯びる性質がある。実は、現在までに実用化されている窒化物半導体素子は全てガリウム極性というある特定の面方位の結晶化しか利用されておらず、異なる面方位の結晶を利用することによって新たな素子設計が可能となる。
本講演では、窒化物半導体における極性の理解とトランジスタ動作を実現する仕組みについて解説し、近年ポスト５G通信向けミリ波帯トランジスタやEV等用の材料として注目されている代表的な窒素極性窒化物導体である窒化ガリウムの結晶成長からトランジスタへの展開まで紹介する。

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