반도체 EUV 'High NA' 기술 원리를 알아봅시다 ①

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반도체 EUV 'High NA' 기술 원리를 알아봅시다 ①

#EUV #HighNA #ASML

[반도체 EUV 'High NA' 기술 원리를 알아봅시다 ②] 영상 링크
   • 반도체 EUV 'High NA' 기술 원리를 알아봅시다 ②  

00:35 EUV-IUCC 한양대학교 EUV 산업협력센터 소개
02:36 High-NA에 대해서
03:23 EUV 장비 양산과 산업 생태계
04:46 ASML EUV 장비 현황
07:09 레일리의 식과 High-NA
08:42 EUV 노광장비의 반사광학계
10:15 NA값을 늘리는 여러 가지 방법과 한계
13:40 ‘아나모픽(Anamorphic)’ 기술과 정의
17:10 High-NA EUV, 마스크 배율 조정한 '아나모픽' 기술
21:18 High-NA 도입과 고객사들의 요구사항

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