반도체 EUV 'High NA' 기술 원리를 알아봅시다 ②

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반도체 EUV 'High NA' 기술 원리를 알아봅시다 ②

#EUV #ASML #펠리클

00:05 ASML과 TSMC가 펠리클을 만들 수 있는 이유
01:21 펠리클의 개발 현황
06:59 펠리클 소재와 그래핀
09:05 멀티패터닝
11:03 인텔의 High-NA 도입과
13:28 ASML에 대한 투자와 성장
18:05 Beyond EUV
20:24 안진호 교수님에 대해서
23:17 EUV와 관련한 연구와 향후 계획
24:12 국내 기업들의 펠리클 상용화 가능성과 소부장

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